半導體實驗室氣路在實驗室中，可以提供熱源的氣體一般是：天然氣、煤氣、液化氣等，使用這種燃氣主要就是用于試樣熔融分解和一些玻璃器皿制造，也能用在煤氣沙浴。它的使用場所一般是在試驗臺或者實驗室通風柜中，但是在試驗臺上使用，要保證臺面耐高溫和設(shè)計原子吸收或其他排氣裝置，同樣也具有耐高溫的性能。以上可燃氣體都具有高危險性，進行氣體管路的設(shè)計和安裝時要達到國家的要求標準、行業(yè)規(guī)范，非專業(yè)工程師不得隨意改動和安裝，以免氣體泄漏，造成事故的發(fā)生。

　　半導體實驗室氣路系統(tǒng)的維護事項：

　　1、對庫存、備用或因任務(wù)不足需要封存一段時間的儀器設(shè)備要定期清潔、查點、進行防塵、防銹、防潮等方面的維護。

　　2、各實驗室必須建立嚴格的崗位責任制，系統(tǒng)根據(jù)所使用儀器設(shè)備的特點和要求，制定相應(yīng)的維護保養(yǎng)措施，并認真落實，使儀器設(shè)備的維護保養(yǎng)做到經(jīng)常化、制度化。

　　3、要加強對實驗技術(shù)人員以及學生的基本操作訓練，使他們熟悉儀器設(shè)備性能特點，掌握基本操作方法，避免因操作不當或失誤造成損壞事故，特別是大型精密儀器設(shè)備使用，要嚴格執(zhí)行持證上崗的制度，嚴禁未經(jīng)培訓、考核不合格人員私自操作大型精密儀器。

　　半導體實驗室氣路發(fā)生故障的原因：

　　1、外部因素不正常所引起的故障；

　　2、人為的操作使用過程不當引起的故障；

　　3、自身內(nèi)部某些元件質(zhì)量缺陷引起的故障。